真空式等離子設備

等離子介紹：
    等離子為物質的第四態，即固態、液態、氣態、電漿。基本上可以把等離子看做是部份離子化的氣態。 物質由
分子構成，分子由原子構成，原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負電的電子構成。當被加熱到足夠高的溫度
或其他原因，外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子。電子離開原子核，這個過程就叫做“電離”。這時，物
質就變成了由帶正電的原子核和帶負電的電子組成的、一團均勻的“漿糊”，這個漿糊就是等離子體，等離子中
含有中性的氣體分子、離化的分子、激態分子及電子。     
    根據等離子產生方式可以分為真空等離子和大氣等離子，兩種等離子有非常強的反應性，選擇不一樣的反應氣
體，可以進行不一樣的等離子反應，不一樣的等離子應用，例如：等離子清潔、蝕刻、去光阻、表面改質、電漿
殺菌、及電漿鍍膜等。

真空式等離子設備功能介紹：

1、腔體式多層電極設計：
     ♦ 腔體內部容積約110L                               
     ♦ 腔體材質為鋁合金AL7075
     ♦ 腔壁依據特殊工藝升級為冷卻功能
              

      

2、電極射頻導入和插銷設計：
      

3、電極板組件：
     
 

4、空陰極的電極設計：
     中空陰極的電極結構： 因為兩邊等電位的結構，使得在電場當中運動的電子在沒有碰撞到氣體分子（未實現電
     離而不產生等離子）的情況下，因為另一側等電位的電極特性而折返，反復在電場中震盪（此現象類似於一顆
     鋼珠在周邊等高的碗中來回做鐘擺運動），這樣利於提高電子本身撞擊到氣體分子的概率，從而大大提高了單
     位面積內產生的等離子濃度。進而實現更好的清潔效果。
     

5、 氣體流場設計，等離子均勻性好、無死角清洗：
       

6、閉環監控回饋：
     ♦ 設備所有工藝參數皆可以本地保存和監控，參數也可以通過聯網方式上傳MES，做產品記錄和追溯。
     ♦ 可以外掛掃碼槍做生產上下游的銜接追溯。
     ♦ 觀察窗+光電轉換電路的閉環監控系統，可將等離子產生後的可見光轉換為開關量信號。達到閉環監控等離子
        是否有工作輸出。