等離子電漿清洗機

臻和科技的等離子電漿清洗機是專門為現代高科技製造業量身打造的清潔解決方案,尤其適合半導體、生物醫療、精密光學及高端製造業等對潔淨度有極高要求的行業。該設備利用等離子體的強大能量,無需依賴化學藥品,即可迅速且徹底地清潔物品表面,達到業界頂尖的潔淨標準。等離子電漿清洗機的運行過程是一種高效、安全的物理過程,不僅能夠徹底清除表面的有機和無機污染物,而且不會對操作人員或環境造成任何負擔。
等離子電漿清洗的過程通常包括以下幾個步驟。首先,物品被放置在真空室內,然後抽取空氣,形成接近真空的環境。接著,根據清洗或表面改性的需求,向真空室內注入一種或多種特定的氣體,例如氬氣、氧氣或氟化物氣體。接著使用高頻電力激發注入的氣體,使其離化成等離子態。這些高能粒子對物體表面的汙染物具有強大的反應性。等離子體中的活性粒子與表面的汙染物反應,將其分解或轉化,從而達到清潔或改性的目的。清洗過程後,會將反應生成的氣體和揮發性產物從真空室中排出。這個過程既高效又安全,且不使用任何化學藥品,因此在半導體製造、生物醫療設備的表面處理、光學元件的精細清洗等行業中,等離子電漿清洗機已經成為不可或缺的設備。
選擇臻和科技的等離子電漿清洗機,不僅能夠提升產品品質,還能幫助企業有效減少生產過程中的缺陷率。這款設備的設計充分考慮了用戶的操作便利性和維護的簡易性,讓使用者能夠輕鬆維持設備的最佳性能,確保生產流程始終保持高效運行。由於等離子電漿清洗技術能夠精確控制處理條件,因此它在不同的製造行業中得到了廣泛應用,並且贏得了高度認可。臻和科技致力於為客戶提供最高品質的產品,並且不斷提升技術,以應對不斷變化的市場需求。
大氣式等離子設備

使用氣體:N2/CDA
產生方式:常壓狀態下常規電源產生
作用方式:清洗、表面改性、殺菌
應用領域:印刷、噴塗、貼合、汽車動力總成、新能源電池、LCM

大氣式等離子設備功能介紹:
1、設備具備掃碼功能:
適用於SMT掃碼需求,掃碼資訊可與MES進行交互,MES 回饋的路由資訊存在異常可停機報警,不會出現漏掃碼情況。

2、配置相機+光源:
等離子清洗機具備有Mark自動校正功能,PCB到位定位功能,可對異形MARK進行識別並自動校正,識別時不受板子及MARK顏色影響。

3、清洗高度元器件:
設備配置 Z 軸,具備抬升避讓功能 設備配置Z軸,上下可通過軟體設定元器件的高度,自動運行後,清洗頭抬高並清洗元器件表面。通過添加清洗避讓位置,設置元器件半徑大小、高度,軟體右側的“增加”是根據產品使用,增加多個避讓位置。

4、工單的設定功能:
根據產線作業員提供對應工單內容,輸入對應參數;配合設備狀態資訊,上傳MES,與智慧系統對接。

5、設備PCB流向(右進左出、左進右出)可設定:
設備軟體功能設置選項可自由設定,配合設備的運輸系統感測器sensor,可輕鬆切換PCB流向。

6、設備配置自動調寬功能:
操作人員通過設定產品規格,設備重定後進入需要設定軌道寬度,使用方便:

真空等離子設備

使用氣體:N2/Ar/O2/CF4…
產生方式:真空狀態下,中高頻電源作用產生
作用方式:清洗、蝕刻、殺菌
應用領域:半導體封裝、晶圓晶片生產、LCM

真空式等離子設備功能介紹:
1、腔體式多層電極設計:
腔體內部容積約110L
腔體材質為鋁合金AL7075
腔壁依據特殊工藝升級為冷卻功能

2、電極射頻導入和插銷設計:

3、電極板組件:

4、空陰極的電極設計:
中空陰極的電極結構:因為兩邊等電位的結構,使得在電場當中運動的電子在沒有碰撞到氣體分子(未實現電
離而不產生等離子)的情況下,因為另一側等電位的電極特性而折返,反復在電場中震盪(此現象類似於一顆
鋼珠在周邊等高的碗中來回做鐘擺運動),這樣利於提高電子本身撞擊到氣體分子的概率,從而大大提高了單
位面積內產生的等離子濃度。進而實現更好的清潔效果。

5、 氣體流場設計,等離子均勻性好、無死角清洗:

6、閉環監控回饋:
設備所有工藝參數皆可以本地保存和監控,參數也可以通過聯網方式上傳MES,做產品記錄和追溯。
可以外掛掃碼槍做生產上下游的銜接追溯。
觀察窗+光電轉換電路的閉環監控系統,可將等離子產生後的可見光轉換為開關量信號。達到閉環監控等離子是否有工作輸出。